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        化學品分配系統(tǒng)是旨在將化學品和化學品輸送到用于濕法處理晶圓的生產(chǎn)工具。通常，濕處理化學品通過過濾器被泵送到儲罐中，然后將過濾的化學品供給到工廠中其他的處理工具。過濾流量通常很低，通常是單程的，意味著這些化學品只被過濾一次。由于過濾器有一個或多個機會可以去除不需要的顆粒，所以應該使用具有高顆粒去除效率的過濾器。

        XZC為化學品分配提供理想選擇，這些過濾器專為單通道或小流量系統(tǒng)而設計，并針對較高的顆粒去除效率和清潔度進行了優(yōu)化。